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PI-P-712线性压电陶瓷扫描仪 •高动态,达5毫秒的稳定时间 •行程达40微米 分辨率达0.2纳米 低外形的紧凑型设计,40 毫米 × 40 毫米 × 6 毫米 通光孔径25 毫米 × 15 毫米 PICMA大功率促动器
PI(Physik Instrumente)P-734 XY压电扫描仪 通光孔径56毫米 × 56毫米 电容式传感器可实现小于0.4纳米的分辨率 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
PI PicoCube XY(Z)压电扫描仪-北京汉达森 自动配置和快速部件更换 机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的SubD连接器的ID芯片中。每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。
*PI PicoCube XY(Z)压电扫描仪 并联测量技术可实现导向误差的自动化 补偿 分辨率50皮米 行程5微米×5微米×5微米 真空兼容版本
德国PI PicoCube XY(Z)压电扫描仪 X、Y向上的串扰(Z向运动) 5 - 纳米 机械特性 X、Y向上的空载谐振频率 3.1 4.2 千赫兹 Z向上的空载谐振频率 9.8 - 千赫兹