德国PI （Physik Instrumente）向压电工作台

德国PI (Physik Instrumente)向压电工作台

：PI (Physik Instrumente)
公司简介：
   德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。
   PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器，用于线性，旋转和垂直运动或不同轴的组合。 PI因此将这些解决方案适应客户特定的应用或提供用于运动和定位的成品子系统。

产品应用领域：
半导体制造
医学工程
生物技术
工厂工程
表面计量
天文学

德国PI (Physik Instrumente)向压电工作台

P-620.2 – P-629.2 PIHeraXY向压电工作台

§ 行程为50至1800微米

§ 分辨率达0.1纳米

§ 定位精度 0.02 %

§ 带电容式传感器的直接计量

§ X、XY、Z和XYZ型

带电容式传感器，实现亚纳米分辨率

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。

零间隙柔性铰链导向带来高导向精度

柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损，无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对chong击和振动不敏感。 它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。

直接位置测量带来大精度

运动直接在运动平台上测量，*不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现jia的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。

德国PI (Physik Instrumente)向压电工作台