PI六轴精密压电平台P-587 用于X、Y、Z、θX、θY、θZ向上的定位和 扫描 线性行程为800 微米×800 微米×200 微米 大旋转角度达1微弧度

PI（Physik Instrumente）六轴精密压电平台 德国PI公司是运动和定位领域的解决方案供应商。PI不仅开发和生产各种定位平台和执行器

PI P-562.6CD PIMars六轴压电平台系统 6个运动轴：3个为线性，3个为旋转 行程达200微米（线性）和1毫弧度（偏 摆角）

PI PicoCube XY（Z）压电扫描仪-北京汉达森 自动配置和快速部件更换 机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的SubD连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。

*PI PicoCube XY（Z）压电扫描仪 并联测量技术可实现导向误差的自动化 补偿 分辨率50皮米 行程5微米×5微米×5微米 真空兼容版本