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PI Hera压电陶瓷线性精密定位器 行程为50至1800微米 分辨率达0.1纳米 线性误差 0.02 % X、XY、Z版本;可提供XYZ组合 真空兼容版本达10-9百帕
PI-P-629.1压电陶瓷线性精密定位器 应用领域 干涉测量 显微镜 纳米定位 生物技术 测试应用 半导体技术 光子 光纤定位
PI-P-620.1压电陶瓷线性精密定位器 行程为50至1800微米 分辨率达0.1纳米 线性误差 0.02 %
PI-P-611.1线性压电陶瓷定位系统 紧凑型设计:表面为44×44毫米 行程120微米 分辨率达0.2纳米
PI-P-915KWEF压电六足位移台 负载能力高达1500克 小位移为1纳米/0.07微弧度 行程范围达70微米